粗拋拋光液的使用濃度一般是多少?

粗拋拋光液的使用濃度因靶材材料、拋光方式等因素而有所不同。不同靶材對應不同配方的拋光液,如鋁靶材的粗拋拋光液含 1.89%的 hf 和 98.11%的水,磨料體積百分比為 5%~9% 。而在拋光方式上,手工拋光時,粗拋拋光液按 1:1 - 1:3(拋光液:水)稀釋,機械拋光則要依據設備要求調整??傊褂脮r要綜合多種因素來確定合適的濃度。

除了鋁靶材,其他靶材的粗拋拋光液濃度也各有規定。對于鋁合金靶材,其拋光液含有 0.39%的 hf、2.41%的 hno3、0.53%的 hcl 以及 96.67%的水,磨料體積百分比處于 18%~22% 。銅靶材的拋光液,hcl 含量在 2.7%~8%,三氯化鐵為 3.2%~5%,水占 88.5~93%,磨料體積百分比是 8%~12% 。

鈦靶材的粗拋拋光液中,hf 占 3.28%,hno3 為 32.16%,水占 64.56%,磨料體積百分比為 23%~27% 。鉭靶材的拋光液,hf 含量達 10.93%,hno3 為 26.78%,水占 62.29%,磨料體積百分比為 38%~42% 。這些不同的濃度配比,是為了適應各種靶材的特性,以達到理想的粗拋效果。

此外,雙面粗拋和單面無蠟粗拋也有特定的拋光液成分。雙面粗拋的拋光液由 15l 去離子水、900ml 有效濃度 38%的次氯化鈉溶液以及 600ml 含粒徑 85 μm 二氧化硅顆粒的硅溶膠水溶液構成;單面無蠟粗拋的粗拋液則包含 20l 去離子水、550g 砷化鎵拋光粉以及 1000ml 含粒徑 85 μm sio2 顆粒的硅溶膠水溶液。

總之,粗拋拋光液的使用濃度是一個復雜的參數,涉及靶材材料、拋光方式等多方面因素。在實際操作中,必須精準把握這些因素,嚴格按照規定調配濃度,才能確保粗拋工作順利進行,獲得良好的拋光質量,為后續的精細加工奠定堅實基礎。

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