真空壓力傳感器的精度如何保證？

要保證真空壓力傳感器的精度，可從以下方面入手。

首先，在高真空度控制系統(tǒng)中，采用上游控制模式，在分子泵全速抽氣條件下，通過(guò)精密調(diào)節(jié)微小進(jìn)氣流量來(lái)實(shí)現(xiàn)。此系統(tǒng)主要包括冷阻真空計(jì)、微量進(jìn)氣調(diào)節(jié)裝置和真空壓力控制器，構(gòu)成閉環(huán)控制系統(tǒng)，其精度決定最終控制精度。微量進(jìn)氣調(diào)節(jié)裝置由電動(dòng)針閥、泄漏閥和壓力調(diào)節(jié)器組成，可實(shí)現(xiàn)微小進(jìn)氣流量調(diào)節(jié)，壓力調(diào)節(jié)器和電動(dòng)針閥的控制采用高精度的雙通道真空壓力 PID 控制器。

其次，低真空度控制系統(tǒng)需分別采用上游和下游兩種控制模式。在低真空的 0.01~10Torr 范圍內(nèi)，采用 10Torr 量程的電容真空計(jì)，通過(guò)動(dòng)態(tài)改變電動(dòng)針閥的開度來(lái)調(diào)節(jié)進(jìn)氣流量，并增加壓力調(diào)節(jié)器保證進(jìn)氣壓力穩(wěn)定。在 10~760Torr 范圍內(nèi)，固定電動(dòng)針閥開度，通過(guò)改變電動(dòng)球閥的開度調(diào)節(jié)排氣流量。同樣采用高精度的雙通道真空壓力控制器，要求電動(dòng)針閥和電動(dòng)球閥響應(yīng)速度快。

對(duì)于正壓壓力控制，采用集成式動(dòng)態(tài)平衡法壓力調(diào)節(jié)器和串級(jí)控制方法，由壓力調(diào)節(jié)器、壓力傳感器和真空壓力控制器構(gòu)成雙閉環(huán)控制回路，采用相應(yīng)精度和量程的壓力傳感器和調(diào)節(jié)器可實(shí)現(xiàn)高精度控制。

此外，在真空壓力控制中，傳感器和電氣比例閥的精度涉及非線性、遲滯、重復(fù)性和靈敏度等概念。非線性常用最小二乘法或終端基線線性度測(cè)量，用滿量程輸出的百分比表達(dá)。重復(fù)性包括可重復(fù)性和不可重復(fù)性誤差，一般精度聲明中的重復(fù)性指短期可重復(fù)誤差。遲滯誤差通常表示為機(jī)械遲滯和溫度遲滯的組合，通過(guò)比較壓力增減過(guò)程中相同點(diǎn)的輸出信號(hào)計(jì)算。分辨率是傳感器感受被測(cè)量小變化的能力，靈敏度是電壓輸出量對(duì)壓力輸入量變化的比值，一般靈敏度越高，分辨率越好，但測(cè)量范圍可能變窄，穩(wěn)定性變差。

在選擇壓力傳感器和電氣比例閥時(shí)，要確定整體精度，不同制造商組合精度因素的方法不同，有的簡(jiǎn)單相加，有的用數(shù)學(xué)方程。同時(shí)要考慮總誤差，包括可調(diào)誤差、精度和溫度效應(yīng)。

而真空壓力傳感器的工作原理基于“彈性變形”，包括空氣感應(yīng)器和成形活塞，感應(yīng)壓力變化并轉(zhuǎn)化為信號(hào)。其廣泛應(yīng)用于汽車發(fā)動(dòng)機(jī)控制系統(tǒng)，與其他傳感器協(xié)同工作，實(shí)現(xiàn)對(duì)發(fā)動(dòng)機(jī)的精確控制，還能輔助診斷和解決發(fā)動(dòng)機(jī)運(yùn)行問題。為防止傳感器故障，要保持真空線路通暢，檢查連接牢固，避免碰撞和及時(shí)檢測(cè)維護(hù)發(fā)動(dòng)機(jī)系統(tǒng)。不同應(yīng)用領(lǐng)域?qū)φ婵窄h(huán)境要求不同，需選擇適合的傳感器類型和規(guī)格，并與數(shù)據(jù)采集或控制系統(tǒng)配合使用。