應(yīng)變式壓力傳感器和壓阻式傳感器的轉(zhuǎn)換原理是什么？

應(yīng)變式壓力傳感器：的外部壓力(或拉力)使應(yīng)變材料的幾何形狀(長度或?qū)挾?發(fā)生變化，從而導(dǎo)致材料電阻的變化。可以通過檢測電阻變化來測量外力。壓阻式壓力傳感器3360受到外力后，半導(dǎo)體壓阻式傳感器的晶格參數(shù)發(fā)生變化，影響帶隙寬度，進(jìn)而引起載流子密度發(fā)生較大變化，最終引起材料電阻率發(fā)生變化。可以看出，雖然兩種材料都隨著外力的變化表現(xiàn)出電阻的變化，但原理不同。此外，應(yīng)變材料對外力的靈敏度遠(yuǎn)低于半導(dǎo)體壓阻材料，比前者高100倍左右。半導(dǎo)體壓阻材料的應(yīng)變特性受溫度影響較小，而半導(dǎo)體壓阻材料對溫度比較敏感。