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還原爐底盤有哪些特點?

2024-09-24 07:33:39 作者:整理于互聯網

還原爐底盤具有以下特點:

1. 結構復雜且精細:包括底盤主體,主體內又分相對間隔設置的第一底盤、第二底盤和第三底盤,形成了冷卻腔室和進氣腔室。

2. 進氣與導流設計獨特:第三底盤設有進氣孔向進氣腔室通氣,冷卻腔室內設置多個同心間隔的導流環板,形成導流通道,使氣體均勻進入還原爐。

3. 環隙與擋板設置:第一底盤和第二底盤分別形成多個環隙,導流環板一端與環隙連通,其位于還原爐內的一端端部設有擋板,能遮擋導流通道部分。

4. 功能多樣的部件:導流環板一端還設置有換向環板、延長環板等,電極外設置套筒,底盤上有排氣管、冷卻水循環管等。

5. 多種分布方式:如進氣口組、還原尾氣出口組、電極基座組沿盤體的徑向間隔開設置,且有交替設置的情況。

6. 數量與間距設置:進氣孔、電極基座、進氣口、還原尾氣出口等數量有具體設定,電極基座組的相鄰電極基座在底盤周向上有特定間距。

7. 組合與分層設計:有的底盤包括第一盤體和第二盤體,兩者限定出冷卻腔。

8. 提高生產效果:能使原料氣體更均勻地進入還原爐,提高流場和溫度分布均勻性,有利于硅棒沉積,改善硅棒表面質量,避免倒棒、硅棒偏心等現象。

(圖/文/攝:太平洋汽車 整理于互聯網)

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