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還原爐底盤有哪些更換收益?

2024-09-24 07:20:04 作者:資訊小編

還原爐底盤的更換能帶來多方面的收益。

首先,能優化原料氣體在還原爐內的流場和溫度分布。新的底盤設計能讓原料氣體更均勻地進入還原爐,避免出現硅棒底部偏心、倒棒等現象,從而提高多晶硅的生產質量和產量。

其次,改善冷卻效果。一些新的底盤結構,比如帶有螺旋流道的底盤,能減少冷卻液流動阻力,提高冷卻效率,使底盤徑向溫度分布更均勻,降低溫差應力和變形的風險。

再者,新的底盤結構在進氣方面更具優勢。像有進氣腔和多個進氣管的設計,能使進氣氣體先均勻分散后再進入爐體,提高進氣均勻性。

另外,新的底盤結構在硅棒布置上更合理。比如硅棒采用同心圓分布且間距設計得當,能使層間硅棒相互輻射距離相近,保證每根硅棒周圍的輻射熱接近,進一步保證溫度場均勻。

總之,更換還原爐底盤可以從氣體流動、溫度控制、進氣均勻性和硅棒布置等多個方面帶來收益,有助于提高多晶硅的生產效率和質量。

(圖/文/攝:太平洋汽車 整理于互聯網)

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